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化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐
化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐
主要特點(diǎn) :
硬質(zhì)合金材料高溫?zé)Y(jié);電池負(fù)極材料高溫處理:石墨粉高溫處理;碳纖維碳化、石墨化處理:觸頭材料、精密陶瓷、高溫元件高溫?zé)Y(jié):粉末冶金材料、碳化鎢等產(chǎn)品的高溫?zé)Y(jié);產(chǎn)品在N2保護(hù)氣氛下經(jīng)預(yù)熱區(qū)、高溫區(qū)、冷卻區(qū),完成產(chǎn)品的燒成
使用行業(yè) :
新材料方面、軍工,航空、機(jī)械加工、冶金,粉末冶金、化工、工業(yè)用瓷等
  • 產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品規(guī)格
  • 使用步驟
  • 氣相沉積爐

    用途

    本化學(xué)氣相沉積石墨化一體爐可用于以碳?xì)錃怏w(如C3H8等)為碳源的復(fù)合材料的化學(xué)氣相沉積,如C/C復(fù)合材料、SiC復(fù)合材料等的CVD、CVI處理、石墨件的表面增碳處理、石墨烯的生產(chǎn)。

    特點(diǎn)

    采用多功能高溫設(shè)計(jì),可實(shí)現(xiàn)化學(xué)氣相沉積和石墨化處理一次性完成。
    使用溫度高達(dá)2600,并可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
    采用熱電偶和紅外測(cè)溫儀組合的測(cè)溫自動(dòng)轉(zhuǎn)換系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)全溫度段的顯示和控制。
    采用IGBT為主功率器件的感應(yīng)加熱變頻控制系統(tǒng),使得設(shè)備節(jié)能省電,諧波分量小,對(duì)外部設(shè)備無干擾。
    進(jìn)出氣體的精確流量顯示和控制,保證了產(chǎn)品的穩(wěn)定性。
    采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
    采用多通道沉積氣路,流場(chǎng)均勻,無沉積死角,沉積效果好;
    特制的過濾系統(tǒng),對(duì)炭沉積過程中產(chǎn)生的焦油、固體粉塵、有機(jī)氣體等能進(jìn)行有效處理;



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